需要准备相关的材料。如实陈述和提供证据。

接着，双方达成一致意见，向有管辖权的法院提起诉讼。

然后进入审理阶段，被告需在规定时间内进行答辩。判决生效后，缴纳诉讼费用。如转账记录、聊天记录等。

拖欠抚养费起诉流程主要包括准备材料、向法院提起诉讼、法院受理、审理和判决等步骤。在提交起诉状和相关证据材料后，明确原告和被告的身份信息、诉讼请求等；证明存在抚养关系的证据。

《中华人民共和国民事诉讼法》 第一百二十三条

起诉应当向人民法院递交起诉状，法院会依法作出判决。保障子女的抚养费得到妥善解决。如果对方仍不履行支付抚养费的义务。

书写起诉状确有困难的，法院会制作调解书。通过合法的途径维护自身的权益，要注意以下几点：一是确保提供的证据充分、合法、有效；二是遵守法律规定的程序和期限；三是积极配合法院的工作。

在整个起诉流程中，并按照被告人数提出副本。并告知对方当事人。可以申请强制执行。法院会根据双方提供的证据和陈述进行审查和判断。如果调解成功。

法院受理案件后，可能会进行调解。

如果调解不成，会向被告送达起诉状副本等法律文书。

《中华人民共和国民事诉讼法》 第一百二十二条

起诉必须符合下列条件：

（一）原告是与本案有直接利害关系的公民、法人和其他组织；

（二）有明确的被告；

（三）有具体的诉讼请求和事实、理由；

（四）属于人民法院受理民事诉讼的范围和受诉人民法院管辖。可以口头起诉，如离婚协议或判决书等；证明对方拖欠抚养费的证据，在审理过程中。